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    硅碳棒隨著使用時(shí)間的延長會(huì)逐漸老化，硅碳棒會(huì)逐漸氧化變成SiO2,Si0:的生成會(huì)導(dǎo)致硅碳棒的阻值越來越大，導(dǎo)致硅碳棒在原來的調(diào)功器上通電后就馬上燒壞，且硅碳棒老化一般是從800℃開始，且溫度越高，氧化反應(yīng)越快因此硅碳棒在除氣箱中使用時(shí)，應(yīng)該盡量降低硅碳棒的表面溫度，保證硅碳棒設(shè)定溫度不超過8000C，以減慢硅碳棒的老化速度。