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    相對(duì)于外圓切割的圓形硅碳棒或硅錠。內(nèi)圓切割由于其刀片韌性較大，可以用來(lái)切割較大直徑但是內(nèi)圓切割時(shí)材料表面損傷較大、切縫較寬、切割效率不高，僅適用小批量生產(chǎn)。多線切割，也稱(chēng)“線鋸”，一般是采用一根表面鍍銅的不銹鋼鋼絲，直徑通常為80-200m，經(jīng)過(guò)多組線輪，連接放線輪和收線輪。加工室里的輪軸有兩軸、三軸和四軸等，鋼線通常保持20-30 N的張緊力，在切割室形成一排密集的多線線網(wǎng)，在主動(dòng)輪的帶動(dòng)下以5-15 m/s的速度間歇往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將含有粒度約10-25 }m的SiC或金剛石磨料的漿料帶入硅碳棒切割區(qū)域，磨料滾壓嵌入材料表面形成三體磨料磨損進(jìn)行切割。經(jīng)線鋸加工后硅片表面翹曲度(WARP、彎曲度(BOW)、總厚度公差(TTY)和切縫損失均較小，而且平行度(TAPER較好、表面損傷層較淺。多線切割技術(shù)研究主要集中在切割機(jī)理、切割時(shí)振動(dòng)控制、切割方向調(diào)整、張力恒定控制、切割溫度控制等方面，它已成為直徑大于200 mm脆硬材料切割的主流技術(shù)，切縫損失普遍集中在150-210 }m，切片后硅片厚度通?？梢赃_(dá)到100-200 }m，損傷層深度一般為15-25 m，但加工后材料的表面會(huì)留下明顯的線痕。為了提高加工精度和加工效率，常采用電鍍工藝或樹(shù)脂結(jié)合的方法，將金剛石磨料固定在鋼線上，利用固結(jié)金剛石磨粒的鋼線通過(guò)間歇式往復(fù)運(yùn)動(dòng)對(duì)硅碳棒等脆硬材料進(jìn)行切割。

    游離砂漿多線線鋸技術(shù)克服了內(nèi)圓切割和外圓切割的不足，切割硅碳棒的尺寸更大，切縫更窄，材料耗損更小，避免了因刀具本身崩片產(chǎn)生的不良加工現(xiàn)象，采用游離磨料切片后，硅片表面質(zhì)量相對(duì)穩(wěn)定。但是從硅碳棒去除機(jī)理上考慮，由于游離磨料多線切割依靠砂漿中混有的金剛石顆粒的滾壓釬入作用進(jìn)行切割，金剛石顆粒劃過(guò)硅片表面時(shí)容易產(chǎn)生裂紋，硅片表面容易產(chǎn)生殘余應(yīng)力和較深的相變層，殘余應(yīng)力會(huì)導(dǎo)致切割后硅片自身的翹曲變形，需要后續(xù)加工修整，材料加工表面質(zhì)量難以控制。固結(jié)金剛石顆粒的多線線鋸技術(shù)解決了游離砂漿多線線鋸產(chǎn)生的表面質(zhì)量不穩(wěn)定現(xiàn)象，它已成為硬脆材料切割的主流加工方式。www.zsrider.com