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    采用多線線鋸設(shè)備JKEDMS-500對(duì)156 X 156 X 500標(biāo)準(zhǔn)硅碳棒方棒進(jìn)行多線線鋸，在系統(tǒng)界面分別設(shè)定5種不同關(guān)鍵工藝參數(shù)組合(走線速度、鋼線張力和進(jìn)給速度)，線鋸后得到JK-121O1A-JK-121-OSA共5種不同的多晶硅碳棒，如圖3-3所示。從線鋸后硅碳棒表面來(lái)看，JK-121-O1A-JK-121-OSA均有少量污漬，其中JK-121-02A最少。由于線鋸時(shí)關(guān)鍵加工工藝參數(shù)的不同，它們包含于質(zhì)量、成本、時(shí)間、能源、資源、環(huán)境和社會(huì)等屬性下的內(nèi)容也會(huì)不同。

    JK-121-O1A-JK-121-OSA采用5種不同關(guān)鍵工藝參數(shù)得到的標(biāo)準(zhǔn)多晶硅碳棒的評(píng)價(jià)指標(biāo)出片率W、硅碳棒厚度qa、單位產(chǎn)品總的生產(chǎn)成本c!、每千片硅碳棒生產(chǎn)耗費(fèi)的時(shí)間t、硅碳棒單片耗硅量能源利用效率m、廢水排放量e,COD排放量。和用戶滿意度、了的數(shù)據(jù)如表3-6所示。

    對(duì)表3-6中的評(píng)價(jià)指標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化處理，由章節(jié)3.4.1可知，評(píng)價(jià)指標(biāo)出片率W、能源利用效率m、用戶滿意度s、硅碳棒厚度qa屬于效益性指標(biāo);單位產(chǎn)品總的生產(chǎn)成本c!、硅碳棒單片耗硅量、每千片硅碳棒生產(chǎn)耗費(fèi)的時(shí)間t、硅碳棒厚度qa、廢水排放量e與COD排放量e:屬于成本型指標(biāo)。其中用戶滿意度s為定性指標(biāo)，需要參照表3-5進(jìn)行定量化。取表3-6中出片率W、硅碳棒厚度等前8項(xiàng)定量評(píng)價(jià)指標(biāo)的原始數(shù)據(jù)，對(duì)定性指標(biāo)用戶滿意度、了定量化，得到JK-121-O1A--JK-121-OSA標(biāo)準(zhǔn)156X156多晶硅碳棒綠色工藝評(píng)價(jià)指標(biāo)向量O。

    在標(biāo)準(zhǔn)化矩陣R中，每一行代表采用一種關(guān)鍵工藝參數(shù)組合對(duì)硅碳棒進(jìn)行多線線鋸獲得的綠色工藝評(píng)價(jià)指標(biāo)值，該數(shù)值綜合考慮質(zhì)量、成本、時(shí)間、能源、資源、環(huán)境和社會(huì)因素;每一列代表不同關(guān)鍵工藝參數(shù)組合在某一項(xiàng)評(píng)價(jià)指標(biāo)下的評(píng)價(jià)值。對(duì)綠色工藝評(píng)價(jià)矩陣進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化是開展硅碳棒多線線鋸綠色工藝評(píng)價(jià)的基礎(chǔ)，第4章將研究如何對(duì)標(biāo)準(zhǔn)化矩陣R選擇合理的指標(biāo)項(xiàng)加權(quán)方法和綜合評(píng)價(jià)方法，對(duì)JK-121-O1A-JK-121-OSA標(biāo)準(zhǔn)156X156多晶硅碳棒多線線鋸工藝過(guò)程進(jìn)行綠色工藝評(píng)價(jià)和“綠色度”排序。www.zsrider.com