全自動硅碳棒滾圓開槽一體機的功能及加工精度
2024-03-06 17:12:33 點擊：
滾圓開槽一體機可用來磨削加工長度在80 mm-800 mm范圍內(nèi)的6",8”和12”半導(dǎo)體硅碳棒的外圓面，對硅碳棒進行晶向定位并根據(jù)硅碳棒尺寸加工OF面(Orientation Face)或開V槽，為下道切片工序做準備。
硅碳棒磨削直徑精度達士0. 05 mm，硅碳棒圓度誤差小于0. 03 mm，圓錐度小于1 } 12 500，加工圓面表面粗糙度Ru≤0. 4 μm，且表面無亮點、色差等缺陷。
全自動硅碳棒滾圓開槽一體機的總體方案設(shè)計
全自動硅碳棒滾圓開槽一體機總體布局如圖1所示。機床包含自動上下料組件、粗磨組件、開V槽組件、晶向檢測組件、硅碳棒夾持組件、探針檢測組件、精磨組件、底座組件;另外還包含水路系統(tǒng)、潤滑系統(tǒng)、整機防護等部分。
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