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硅碳棒可以分為單晶和多晶兩種

2024-04-01 17:30:13     點(diǎn)擊:

       硅碳棒可以分為單晶和多晶兩種,單晶硅碳棒是指整個(gè)晶棒是一塊原子排列整齊的單晶體,其表面光滑,有明顯的棱線。多晶硅碳棒表面有明顯的晶界,沒(méi)有棱線。單晶硅碳棒與單晶硅碳棒沒(méi)有本質(zhì)區(qū)別,生產(chǎn)工藝也一樣。而在生產(chǎn)多晶硅碳棒時(shí),需要在放肩階段,通過(guò)溫度、晶轉(zhuǎn)等參數(shù)的擾動(dòng),讓棱線消失。

       單晶棒、多晶棒切割出來(lái)的硅芯對(duì)多晶硅生產(chǎn)沒(méi)有影響,但是單晶棒和多晶棒在拉制過(guò)程中差別較大。具體表現(xiàn)在,單晶硅碳棒對(duì)硅料純度、雜質(zhì)含量、溫度控制極為敏感,任何異常的波動(dòng)都容易導(dǎo)致斷棱。即硅碳棒上半部分為單晶體,下半部分為多晶體,俗稱斷棱棒。反之,如果整根硅碳棒從頭到尾都有棱線,則稱為整棒。斷棱棒對(duì)于硅芯生產(chǎn)是致命的,因?yàn)閱尉г跀嗬膺^(guò)程中會(huì)產(chǎn)生統(tǒng)一的位錯(cuò)面,切割后硅芯會(huì)統(tǒng)一在位錯(cuò)面斷開(kāi),導(dǎo)致整根硅碳棒報(bào)廢,沒(méi)有產(chǎn)出。因此,生產(chǎn)單晶硅碳棒對(duì)整棒率要求很高,一旦整棒率過(guò)低,成本會(huì)迅速增加。而多晶棒從一開(kāi)始就沒(méi)有棱線,不存在以上問(wèn)題。但是,多晶硅碳棒必須控制晶體生長(zhǎng)速度,俗稱拉速,不能過(guò)快,否則容易出現(xiàn)隱裂,也會(huì)導(dǎo)致硅芯斷開(kāi)、產(chǎn)出降低,但一般不會(huì)出現(xiàn)整棒報(bào)廢。而單晶硅碳棒,原子排列整齊,拉速比較快,只要確保為整棒,生產(chǎn)成本較多晶硅碳棒低。但由于單晶對(duì)整棒率要求較為苛刻,綜合考量?jī)煞N因素以后,大部分企業(yè)選擇都生產(chǎn)多晶硅碳棒。http://www.zsrider.com/

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